2000 ~ 2019
2019
- 01월TOS 신사옥 완공 및 이전
2018
- 08월기판처리관련 국내특허등록
- 06월VAT 본사 협력업체 등록
- 03월기판처리관련 국내특허등록
- 02월SK하이닉스 협력업체 등록
2017
- 10월LG디스플레이 협력업체 등록
- 05월S사 FCMS Moniting 기술 개발
- 01월온도제어장치관련 국내특허등록
2016
- 09월테스(주) 협력업체 등록
- 05월원익IPS(주) 협력업체 등록
2015
- 11월S사 전력제어기 개발
플라즈마 설비 관련 해외특허등록 - 07월S사 Oxide 전장제어 개발
- 05월온도제어장치관련 국내특허등록
2014
- 10월이노비즈 기업 선정 EtherCAT Board 개발
2012
- 10월Plasma EPD(309nm)개발
- 07월세메스(주) 협력업체 등록
2011
- 10월S사 PR Strip 전장제어 개발 Plasma Arc Detector 원천기술 개발
- 03월기술연구소 설립
2010
- 11월S사 Poly Etch 전장제어개발
- 08월삼성전자(주) 협력업체 등록
- 07월법인전환(주식회사)
2008
- 10월DeviceNet Board 개발
- 01월피에스케이(주) 협력업체등록
2006
- 06월티오에스 설립 및 사업 개시