I-Probe Arc Detector
- Non-Plasma 상태에서 미세 Particle 검출
- High Speed Sampling Time (40MHz)
- Algorithm for Arc Detection (0 ~ 10000nm)
- Sensor : High Sensitive Current Transformer
- Appliction : Dry Etch, PECVD
I - Probe
제품소개
꾸준한 연구개발을 통하여 당사가 제공하는 제품과 서비스의 품질을 향상시킴으로써
고객으로부터 신뢰를 얻는 것에 최선을 다해 고객과 함께 커가는 회사가 될 것입니다.