Plasma Arc Detector
- Plasma 상태에서 미세 Particle 검출
- High Speed Sampling Time (40MHz)
- Algorithm for arc Detection (200 to 1100nm)
- Sensor : High Sensitive UV Photo Detector
- Appliction : Dry Etch, PECVD, ETC
ARC Detector
제품소개
꾸준한 연구개발을 통하여 당사가 제공하는 제품과 서비스의 품질을 향상시킴으로써
고객으로부터 신뢰를 얻는 것에 최선을 다해 고객과 함께 커가는 회사가 될 것입니다.